中国机械工程学会生产工程分会知识服务平台

期刊


ISSN0917-1819
刊名クリ-ンテクノロジ-
参考译名净化技术
收藏年代2009～2024



全部

2009 2010 2011 2012 2013 2014
2015 2016 2017 2018 2019 2020
2021 2022 2023 2024

2010, vol.20, no.1 2010, vol.20, no.10 2010, vol.20, no.11 2010, vol.20, no.12 2010, vol.20, no.2 2010, vol.20, no.3
2010, vol.20, no.4 2010, vol.20, no.5 2010, vol.20, no.6 2010, vol.20, no.7 2010, vol.20, no.8 2010, vol.20, no.9

题名作者出版年年卷期
高度環境制御施設を支える計測器：環境設備計測器としてのpH計中鉢博20102010, vol.20, no.12
「逆解析」機能搭載 三次元気流解析ソフト：FlowDesignerによる最適設計関本敦; 池島薫; 桃瀬一成20102010, vol.20, no.12
デバイスの微細化に伴う異物·汚染制御技術：クリーニング、及びクリーン化技術の改善金山健司; 亀田賢治20102010, vol.20, no.12
イオン注入·アニールによる表面金属汚染のSi基板へのノックオン·拡散挙動嵯峨幸一郎20102010, vol.20, no.12
ウェーハエッジ検査とエッジ汚染の除去：ウェーハエッジ検査の活用例と課題山口賢一; 腰高利明; 内山貴之; 鳥居善三; 藤田将史20102010, vol.20, no.12
プラズマエッチング装置のパーティクル低減：パーティクル低減のための装置状態評価·解析技術長池宏史20102010, vol.20, no.12
IEC規格適合クリーンスーツ矢澤崇20102010, vol.20, no.12
クリーンルームのトラブル·クレーム事例⑦クリーンテクノロジー編集委員会20102010, vol.20, no.12
酸化（拡散）プロセスおよび装置：酸化プロセス、及び装置における汚染要因と汚染抑制技術池川寛晃; 石井勝利; 安倍勝彦; 池内俊之20102010, vol.20, no.12
洗浄技術の基礎と残存汚れの定量化および簡易評価法①：汚れと洗浄剤平塚豊20102010, vol.20, no.12
12



国家科技图书文献中心  全球文献资源网  京ICP备05055788号-26  机械工业信息研究院 2018-2024