中国机械工程学会生产工程分会知识服务平台 | sc.gmachineinfo.com

期刊

全部

2011, vol.60, no.1	2011, vol.60, no.10	2011, vol.60, no.11	2011, vol.60, no.12	2011, vol.60, no.2	2011, vol.60, no.3
2011, vol.60, no.4	2011, vol.60, no.5	2011, vol.60, no.6	2011, vol.60, no.7	2011, vol.60, no.8	2011, vol.60, no.9

题名	作者	出版年	年卷期
高分子ブロック共重合体のDirected Self-Assemblyとリソグラフィーへの展開	吉田博史	2011	2011, vol.60, no.3
光ナノインプリント	廣島洋	2011	2011, vol.60, no.3
マイクロリソグラフィー用フォトレジスト	上田充	2011	2011, vol.60, no.3
EUVレジスト材料の開発	工藤宏人; 西久保忠臣	2011	2011, vol.60, no.3
ArF液浸レジスト	野崎耕司	2011	2011, vol.60, no.3
マスクブランクスから次世代HDD作製技術へ	渡邊強; 流川治	2011	2011, vol.60, no.3
非溶媒界面における高分子の凝集状態と熱運動特性	田中敬二; 藤井義久	2011	2011, vol.60, no.3
電子線レジスト	上野巧	2011	2011, vol.60, no.3
EUVレジスト開発における最近のトピック	古澤孝弘	2011	2011, vol.60, no.3
ナノインプリントリソグラフィー用蛍光レジスト	中川勝	2011	2011, vol.60, no.3