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期刊
ISSN
0913-5685
刊名
電子情報通信学会技術研究報告
参考译名
电子信息通信学会技术研究报告：硅器件和材料
收藏年代
2000～2024
全部
2000
2001
2002
2009
2013
2014
2015
2017
2020
2021
2022
2023
2024
2020, vol.120, no.126
2020, vol.120, no.205
2020, vol.120, no.239
2020, vol.120, no.273
2020, vol.120, no.352
2020, vol.120, no.359
题名
作者
出版年
年卷期
［招待講演］サブ30nmピッチCuダマシン配線のためのRu選択成長メタル·キャッピングとウェハ表面状態の制御
相澤宏一; 前川薫; Kai-Hung Yu; Gyana Pattanaik; Gert Leusink
2020
2020, vol.120, no.359
Co-Zr合金の単層バリア材料としての特性
山田裕貴; 矢作政隆; 小池淳一
2020
2020, vol.120, no.359
TaN薄膜のバリア特性の限界
久家俊洋; 矢作政隆; 小池淳一
2020
2020, vol.120, no.359
［招待講演］1μmピッチCu-Cu接続に対する接合ずれの影響
香川恵永; 上林拓海; 羽根田雅希; 藤井宣年; 古瀬駿介; 橋口日出登; 平野智之; 岩元勇人
2020
2020, vol.120, no.359
［招待公演］材料開発のためのAIと、AIのための材料
山道新太郎
2020
2020, vol.120, no.359
［招待講演］AI·IoT·ビックデータ時代の3次元集積実装技術の研究開発
菊地克弥
2020
2020, vol.120, no.359
［招待講演］3D冗長とWafer-on-Wafer（WOW）テクノロジを用いたBumpless-Build-Cube（BBCube）
菅谷慎二; 中條徳男; 作井康司; 良尊弘幸; 中村友二; 大揚隆之
2020
2020, vol.120, no.359
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