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期刊


ISSN0917-1819
刊名クリ-ンテクノロジ-
参考译名净化技术
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题名作者出版年年卷期
MEMS分野の動向: MEMSの例、およびMEMSビジネスの工夫江刺正喜20232023, vol.33, no.11
試作コインランドリにおけるデータ収集·利活用: 大学共用設備におけるMEMSプロセスデータの取り扱い戸津健太郎20232023, vol.33, no.11
マイクロマシンセンターの活動の歩みと今後の展望長谷川英一20232023, vol.33, no.11
球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造とその応用: ボールSAWセンサを検出器とした超小型可搬ガスクロマトグラフ竹田宣生20232023, vol.33, no.11
3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築平井義和; 田畑修20232023, vol.33, no.11
異分野で頼られるMEMS技術藤田博之20232023, vol.33, no.11
立体サンプルの加工をフォトリソグラフィで可能にする潜像法佐々木実20232023, vol.33, no.11
エアフィルタのバイオ除染に関する動向茂田誠; 大西陽子20232023, vol.33, no.11
HEPAフィルタ付薄型空気清浄機におけるクリーンモニタによる省エネ自動制御システムの検討: 自動清浄度調節制御方式によるクリーンパーティションの省エネ化岡本守20232023, vol.33, no.11
高濃度エアロゾルへの光散乱パーティクルカウンタの適用水野眞人; 大谷吉生20232023, vol.33, no.11
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