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期刊


ISSN0912-0289
刊名精密工学会誌
参考译名日本精密工程学会志
收藏年代1998～2023



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2012, vol.78, no.1 2012, vol.78, no.10 2012, vol.78, no.11 2012, vol.78, no.2 2012, vol.78, no.3 2012, vol.78, no.4
2012, vol.78, no.5 2012, vol.78, no.6 2012, vol.78, no.7 2012, vol.78, no.8 2012, vol.78, no.9

题名作者出版年年卷期
SMAと柔軟プレートを組み合わせた四脚移動ロボットの開発西田麻美20122012, vol.78, no.11
持続可能な製造業の実現に向けた持続可能社会シナリオシミュレータの開発（第3報）－フォアキャスティング型シナリオ設計支援手法水野有智; 木下裕介; 和田春菜; 福重真一; 梅田靖20122012, vol.78, no.11
最先端電子デバイスを支える超精密ポリシング技術木村景一20122012, vol.78, no.11
最先端Si半導体デバイスにおけるCMPプロセス菅井和己20122012, vol.78, no.11
LED用サファイヤ単結晶基板の超精密CMP加工技術とそのPSS加工プロセスへの応用會田英雄; 青田奈津子; 木村豊; 川又友喜; 小山浩司; 山崎努; 土肥俊郎20122012, vol.78, no.11
平面精密研磨に用いられる研磨パッドの技術動向礒部晶20122012, vol.78, no.11
ガラス研磨の計算科学シミュレーション：酸化セリウムに代わる代替砥粒の設計指針の提案尾澤伸樹; 中村美穂; 久保百司20122012, vol.78, no.11
触媒表面基準エッチングによる単結晶SiC, GaN表面の平滑化山内和人; 佐野泰久; 有馬健太20122012, vol.78, no.11
精密加工機の振動解析松原厚20122012, vol.78, no.11
三次元スタック構造の半導体デバイスにおけるコンフォーマル成膜技術に関する研究－第1報 回転霧化エアロゾルスプレーによるTSVの成膜方法の提案とその装置化清家善之; 大坪正徳; 島井太; 丸山健治; 山本浩之; 小林義典; 宮地計二; 土肥俊郎; 黒河周平; 大西修20122012, vol.78, no.11
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