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期刊


ISSN0912-0289
刊名精密工学会誌
参考译名日本精密工程学会志
收藏年代1998～2023



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2022, vol.88, no.1 2022, vol.88, no.10 2022, vol.88, no.11 2022, vol.88, no.12 2022, vol.88, no.2 2022, vol.88, no.3
2022, vol.88, no.4 2022, vol.88, no.5 2022, vol.88, no.6 2022, vol.88, no.7 2022, vol.88, no.8 2022, vol.88, no.9

题名作者出版年年卷期
難加工技術における現状と課題鈴木恵友20222022, vol.88, no.6
難加工次世代単結晶のための次世代型CMP加工技術: プラズマ/CMP同時融合加工の実用化に向けて會田英雄; 武田秀俊; 宮下忠一; 鍛治倉惇; 土肥俊郎20222022, vol.88, no.6
難研磨材料のスラリーレスプラズマ援用研磨と電気化学機械研磨山村和也20222022, vol.88, no.6
ダイヤモンド半導体デバイスの最近の進展: 2インチ径ウェハ成長とパワーデバイスの作製嘉数誠; 金聖祐20222022, vol.88, no.6
ダイヤモンド表面の超高精度加工技術と高放熱デバイスへの応用檜座秀一; 久保田章亀20222022, vol.88, no.6
ELID研削とCMPを連携させたバイオコンパチブル表面創成の試み大森整; 黒河周平; 菅原卓20222022, vol.88, no.6
時を刻む技術: 腕時計に浪漫を求めて圓谷寛夫20222022, vol.88, no.6
気体の計測制御技術をベースとした超精密機器の運動制御: 福岡工業大学工学部知能機械工学科加藤友規20222022, vol.88, no.6
工作機械の位置決めとの出会い 第1回水本洋20222022, vol.88, no.6
私の歩きはじめた道 解説 博士論文 ワイヤ+アーク放電によるアディティブ·マニュファクチャリンクに関する研究阿部壮志20222022, vol.88, no.6
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