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期刊


ISSN0912-0289
刊名精密工学会誌
参考译名日本精密工程学会志
收藏年代1998～2023



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2023, vol.89, no.1 2023, vol.89, no.10 2023, vol.89, no.11 2023, vol.89, no.12 2023, vol.89, no.2 2023, vol.89, no.3
2023, vol.89, no.4 2023, vol.89, no.5 2023, vol.89, no.6 2023, vol.89, no.8 2023, vol.89, no.9

题名作者出版年年卷期
次世代半導体製品および超高純度ダイヤモンドウェハの開発野村光由20232023, vol.89, no.5
パワーデバイス用Sicウエハ加工の現状と展望河田研治20232023, vol.89, no.5
熱可塑性樹脂砥石の現状と将来展望松浦寛20232023, vol.89, no.5
表面改質を利用した単結晶窒化ガリウム（GaN）基板の高速·低ダメージ加工水谷正義; 鷹巣良史; 嶋田慶太; 厨川常元20232023, vol.89, no.5
先進半導体ウェハ向け研磨プロセスの高効率化に関する技術動向千葉翔悟20232023, vol.89, no.5
電界砥粒制御技術を用いた表面創成久住孝幸20232023, vol.89, no.5
水膜ポーラスチャックによる薄型基板の高精度保持技術吉冨健一郎20232023, vol.89, no.5
はじめてのべアリングレスモータ千葉明20232023, vol.89, no.5
強力な超音波で新たな技術を提供したい日本大学 理工学部 電気工学科 三浦·淺見研究室20232023, vol.89, no.5
私の歩きはじめた道: 教育研究活動 第2回青山藤詞郎20232023, vol.89, no.5
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